| 品牌：派珂纳米 | 型号：多种 | 种类：多种 |
MEMS传感器通常被分为以下7类：
1、压力传感器：压力传感器和计量压力的传感器。
2、热学传感器：温度和热量传感器。
3、力学传感器：力、压强、速度和加速度传感器。
4、化学传感器：化学浓度、化学成分和反应率传感器。
5、磁学传感器：磁场强度、磁通密度和磁化强度传感器。
6、辐射传感器：电磁波强度传感器。
7、电学传感器：电压、电流和电荷传感器。
除了上面介绍的几种典型的MEMS传感器外，还有许许多多的MEMS传感器，如用于微观判断的MEMS触觉传感器、MEMS生物传感器、MEMS图像传感器等。在不同环境中，MEMS传感器的技术应用也是不同的。但是，无论何种传感器，都需要有防护涂层才能够使其延长使用寿命。
派瑞林是一种新型敷形涂层材料，是一种对二甲苯聚合物，它具有化学惰性，不溶于酸、碱和有机溶剂，并能抗水解剥蚀，由这种技术形成的薄膜涂层能覆盖到丝织物的棱边和缝隙内。其表面呈疏水性，对水汽和腐蚀性气体渗透性差，热稳定性好，在酸雾、霉菌、潮湿、腐蚀性等恶劣环境中有很好的隔离防护功能。派瑞林(Parylene)膜层因其生成环境温度较低、介电常数小、润滑性好、摩擦系数低、绝缘性和防腐性好等特点，在多个领域得到广泛应用。
