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MEMS 新型传感器的防护涂层-派瑞林

MEMS 新型传感器的防护涂层-派瑞林

派瑞林(Parylene)可在真空下气相沉积,其活性分子的良好穿透力能在元件内部、底部,周围形成无针孔,厚度均匀的透明绝缘涂层,给传感器敏感元件提供一个完整的优质防护涂层,抵御酸碱、盐雾、霉菌及各种腐蚀性气体的侵害。

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品牌:派珂纳米型号:多种种类:多种

MEMS 新型传感器的防护涂层-派瑞林详细介绍

派瑞林涂层技术因其涂层均匀、致密、超薄,不会改变传感器的灵敏性、外观、尺寸、弹性等,近年来在传感器表面镀膜Parylene已经成为一种趋势,经Parylene镀膜防护的传感器包括汽车传感器、腐蚀环境用传感器、生物医学传感器、声学传感器、生物医学电极和植入传感器等等。Parylene对传感器的保护除了绝缘防护外,更多是用做恶劣环境防护材料,Parylene膜层能耐酸、碱和有机溶剂,对水汽和盐雾等恶劣环境有极好的阻隔防护能力。


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