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派瑞林(Parylene)微电子机械系统(MEMS)应用
产品标签 | 派瑞林绝缘涂层 派瑞林耐盐雾腐蚀涂层 微电子派瑞林镀膜 派瑞林防生锈涂层 CVD封装膜
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派瑞林(Parylene)能在0.2um厚时就完全没有针孔,5um时就能耐1000V以上直流击穿电压,又是摩擦系数很低的一种自润滑材料,化学惰性和阻隔性能也好,因此在微电子机械系统中,除了作电介质材料外,还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。
通过使用派瑞林涂层,人们无需在精细的传感器表面进行物理性加载就可实现环保要求。各种工业用元器件和汽车传感器就是很好的应用案例。
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